/

ISO 18115-1:2023 表面化学分析 — 用語集 — Part 1: 一般用語と分光法で使用される用語 | ページ 3

この規格 プレビューページの目次

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。

序章

表面化学分析は、異なる背景を持つ異なる分野の人々の間の交流を伴う重要な分野です。表面化学分析を行う人は、材料科学者、化学者、または物理学者である可能性があり、主に実験的または主に理論的な背景を持っている場合があります。表面化学データを利用する人々は、このグループを超えて他の分野にも広がっています。

現在の表面化学分析技術では、表面に近い領域（通常 20 nm 以内）の組成情報が得られ、表面層が除去される表面分析技術により組成対深さの情報が得られます。この文書で取り上げられる表面分析用語は、電子分光法および質量分析の技術から、光学分光分析および X 線分析にまで及びます。 ISO 18115-2 で取り上げられる用語は、走査型プローブ顕微鏡に関連しています。 ISO 18115-3 で取り上げられる用語は、光学界面解析に関連しています。これらの技術の概念は、核物理学、放射線科学から物理化学、光学まで幅広い分野に由来しています。

幅広い分野と各国の使用法の個別性により、特定の用語に異なる意味が割り当てられたり、同じ概念を説明するのに異なる用語が使用されたりすることがあります。結果として生じる誤解を避け、情報交換を促進するには、概念を明確にし、正しい使用用語を確立し、その定義を確立することが重要です。

用語は第 3 条から第 22 条に分類されます。

  • 第 3 項: 表面化学分析の一般概念に関連する用語。
  • 第 4 条: 材料中の粒子輸送に関する用語。
  • 第 5 条: サンプルの説明に関する用語。
  • 第 6 条: サンプル調製に関する用語。
  • 第 7 条: 計測に関する用語。
  • 第 8 条: 実験条件に関する用語。
  • 第 9 条: スパッタ深さプロファイリングに関連する用語。
  • 第 10 条: 解決に関する条件。
  • 第 11 条: 電子分光法に関する用語。
  • 第 12 条: 電子分光分析に関する用語。
  • 第 13 条: 蛍光 X 線、反射および散乱法に関する用語。
  • 第 14 条: 蛍光 X 線、反射および散乱分析に関する用語。
  • 第 15 条: グロー放電法に関する用語。
  • 第 16 条: グロー放電解析に関する用語。
  • 第 17 条: イオン散乱法に関する用語。
  • 第 18 条: イオン散乱分析に関する用語。
  • 第 19 条: 表面質量分析法に関する用語。
  • 第 20 条: 表面質量分析に関する用語。
  • 第 21 条: アトムプローブ断層撮影法に関連する用語。
  • 第 22 条: 多変量解析に関する用語。

Introduction

Surface chemical analysis is an important area which involves interactions between people with different backgrounds and from different fields. Those conducting surface chemical analysis can be materials scientists, chemists, or physicists and can have a background that is primarily experimental or primarily theoretical. Those making use of the surface chemical data extend beyond this group into other disciplines.

With the present techniques of surface chemical analysis, compositional information is obtained for regions close to a surface (generally within 20 nm) and composition-versus-depth information is obtained with surface analytical techniques as surface layers are removed. The surface analytical terms covered in this document extend from the techniques of electron spectroscopy and mass spectrometry to optical spectrometry and X-ray analysis. The terms covered in ISO 18115-2 relate to scanning-probe microscopy. The terms covered in ISO 18115-3 relate to optical interface analysis. Concepts for these techniques derive from disciplines as widely ranging as nuclear physics and radiation science to physical chemistry and optics.

The wide range of disciplines and the individualities of national usages have led to different meanings being attributed to particular terms and, again, different terms being used to describe the same concept. To avoid the consequent misunderstandings and to facilitate the exchange of information, it is essential to clarify the concepts, to establish the correct terms for use, and to establish their definitions.

The terms are classified under Clauses 3 to 22:

  • Clause 3: Terms related to general concepts in surface chemical analysis;
  • Clause 4: Terms related to particle transport in materials;
  • Clause 5: Terms related to the description of samples;
  • Clause 6: Terms related to sample preparation;
  • Clause 7: Terms related to instrumentation;
  • Clause 8: Terms related to experimental conditions;
  • Clause 9: Terms related to sputter depth profiling;
  • Clause 10: Terms related to resolution;
  • Clause 11: Terms related to electron spectroscopy methods;
  • Clause 12: Terms related to electron spectroscopy analysis;
  • Clause 13: Terms related to X-ray fluorescence, reflection and scattering methods;
  • Clause 14: Terms related to X-ray fluorescence, reflection and scattering analysis;
  • Clause 15: Terms related to glow discharge methods;
  • Clause 16: Terms related to glow discharge analysis;
  • Clause 17: Terms related to ion scattering methods;
  • Clause 18: Terms related to ion scattering analysis;
  • Clause 19: Terms related to surface mass spectrometry methods;
  • Clause 20: Terms related to surface mass spectrometry analysis;
  • Clause 21: Terms related to atom probe tomography;
  • Clause 22: Terms related to multivariate analysis.

ISO PDF プレビュー