電子技術基本用語集

超電導膜

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Glossary of basic terms used in electrotechnology

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規格 JISC5600:2006
JIS C 5600:2006
用語
超電導膜
定義
超電導を示す膜。ジョセフソン素子,LSI 用の配線などのデバイス化をねらいとする。 備考 超電導薄膜は,およそ1 μm 以下の厚さの膜をいい,MgO,LaAlO3,SrTiO3 などの格子定数のずれが小さく反応性が少ない基板を用い,スパッタリング法,レーザ蒸着法,CVD 法などで超電導材料を薄膜成長させて作製する。 超電導厚膜は,およそ 1 μm から 10 μm の厚さの膜をいい,スクリーン印刷,ドクターブレード法,ディップコート法などを用いて作製する。
対応英語(参考)
superconducting film

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