電気めっき及び関連処理用語集

真空蒸着

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Glossary of terms used in electroplating and related processes

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規格 JISH0400:1998
JIS H 0400:1998
用語
真空蒸着
定義
真空中で物質を加熱蒸発し,基板上に薄膜を形成する成膜法。
対応英語(参考)
vacuum evaporation

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