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真空技術用語集 第３部：真空計及び関連用語集

高周波型質量分析計

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Vacuum technology - Vocabulary - Part 3:Vacuum gauges and related terms

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規格 JISZ81263:2018
用語
高周波型質量分析計
定義
一対のグリッドによって正負交互に形成される高周波電界によって，イオンを選択的に加速して分離する質量分析計。
対応英語(参考)
radio frequency mass spectrometer

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