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真空技術用語集 第３部：真空計及び関連用語集

質量分析計

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Vacuum technology - Vocabulary - Part 3:Vacuum gauges and related terms

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規格 JISZ81263:2018
用語
質量分析計
定義
質量電荷比の異なるイオン化された粒子を選別し，それぞれのイオン電流を測る機器。 注記 質量分析計は，ある特定の気体の分圧を測定する用途，混合気体の組成を分析する用途，及び漏れ探しにおいてトレーサガスだけを検出する用途に使われる。質量分析計は，イオンを選別する方法で分類される。
対応英語(参考)
mass spectrometer

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