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真空技術用語集 第３部：真空計及び関連用語集

高圧力電離真空計

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Vacuum technology - Vocabulary - Part 3:Vacuum gauges and related terms

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規格 JISZ81263:2018
用語
高圧力電離真空計
定義
一般の三極管形電離真空計の圧力範囲に比べて高い圧力の中真空で動作する熱陰極電離真空計。 注記 電極間距離を短くすることによって，高い圧力までを測定可能とした。 例 シュルツゲージ
対応英語(参考)
high pressure ionization gauge

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