真空技術用語集 第3部:真空計及び関連用語集

モジュレータ真空計

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Vacuum technology - Vocabulary - Part 3:Vacuum gauges and related terms

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規格 JISZ81263:2018
用語
モジュレータ真空計
定義
モジュレータとしての補助電極を設け,その電位変化による集イオン電極電流の変化を測定し,残留電流の影響を見積もることができるようにしたベアード-アルパート真空計。
対応英語(参考)
modulator gauge

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JIS規格(関連、参考)

国際規格(関連、参考)