/

真空技術用語集 第３部：真空計及び関連用語集

ピラニ真空計

真空技術用語集 第３部：真空計及び関連用語集集 [ ピ 行 ]

Vacuum technology - Vocabulary - Part 3:Vacuum gauges and related terms

真空技術用語集 第３部：真空計及び関連用語集に戻る

規格 JISZ81263:2018
用語
ピラニ真空計
定義
加熱素子がホイートストンブリッジの一部を構成しており，その加熱素子の抵抗又は加熱素子から散逸する電力の圧力依存性を利用して計測する熱伝導真空計。注記 加熱素子として，金属細線が一般的に使われる。加熱素子を一定温度に保つために必要な電力が圧力に依存することを利用するピラニ真空計が，ピラニ真空計の原理に最も忠実な定温度法である。そのほか定電圧法（ピラニが開発した方式），定電流法がある。
対応英語(参考)
Pirani gauge

真空技術用語集 第３部：真空計及び関連用語集 一覧

あ

え

か

き

こ

さ

し

じ

す

せ

そ

た

ち

て

に

ね

ひ

ふ

ほ

よ

イ

エ

オ

ガ

ク

サ

ス

ヌ

ピ

ブ

ベ

ペ

マ

モ

リ

U

X

JIS規格（関連、参考）

国際規格（関連、参考）