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真空技術用語集 第３部：真空計及び関連用語集

分圧（真空）計

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Vacuum technology - Vocabulary - Part 3:Vacuum gauges and related terms

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規格 JISZ81263:2018
用語
分圧（真空）計
定義
混合気体の成分の分圧に関係する量を測定する真空計。 注記1 分圧計の感度は気体の種類によって異なる。 注記2 この種のゲージは，“残留ガス分析計”とも呼ばれる。
対応英語(参考)
partial pressure vacuum gauge partial pressure analyser residual gas analyser

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