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真空技術用語集 第３部：真空計及び関連用語集

電離真空計

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Vacuum technology - Vocabulary - Part 3:Vacuum gauges and related terms

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規格 JISZ81263:2018
用語
電離真空計
定義
気体分子の電離によって生じたイオン電流を測定して圧力を求める真空計。 注記 圧力は，気体分子密度に比例する。
対応英語(参考)
ionization vacuum gauge

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