真空技術用語集 第３部：真空計及び関連用語集

制御器， コントローラ

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Vacuum technology - Vocabulary - Part 3:Vacuum gauges and related terms

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真空技術用語集 第３部：真空計及び関連用語集 一覧

JIS規格（関連、参考）

• JIS Z 8126-1:1999 真空技術―用語―第１部：一般用語
• JIS Z 8126-1:2021 真空技術―用語―第１部：一般用語
• JIS Z 8126-2:1999 真空技術―用語―第２部：真空ポンプ及び関連用語
• JIS Z 8126-3:2018 真空技術―用語―第３部：真空計及び関連用語

国際規格（関連、参考）

• ISO 3529-1:1981 (W) 真空技術 — 語彙 — Part 1: 一般用語
• ISO 3529-1:2019 真空技術—用語, 語彙—パート1：一般用語
• ISO 3529-2:1981 (W) 真空技術 — 語彙 — Part 2: 真空ポンプと関連用語
• ISO 3529-2:2020 真空技術—用語, 語彙—パート2：真空ポンプと関連用語
• ISO 3529-3:1981 (W) 真空技術 — 語彙 — Part 3: 真空計
• ISO 3529-3:2014 真空技術—用語, 語彙—パート3：全圧および分圧真空計