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真空技術用語集 第３部：真空計及び関連用語集

隔膜真空計

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Vacuum technology - Vocabulary - Part 3:Vacuum gauges and related terms

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規格 JISZ81263:2018
用語
隔膜真空計
定義
隔離媒体に隔膜を用いる弾性真空計。 例 ピエゾ型隔膜真空計，静電容量型隔膜真空計，シリコンレゾナント型圧力計。
対応英語(参考)
diaphragm gauge membrane gauge

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