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真空技術用語集 第３部：真空計及び関連用語集

静電容量型隔膜真空計

真空技術用語集 第３部：真空計及び関連用語集集 [ せ 行 ]

Vacuum technology - Vocabulary - Part 3:Vacuum gauges and related terms

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規格 JISZ81263:2018
用語
静電容量型隔膜真空計
定義
静電容量の変化で隔膜の変位を測定する隔膜真空計。 注記 静電容量型隔膜真空計は，キャパシタンスマノメータとも呼ばれる。
対応英語(参考)
capacitance diaphragm gauge capacitance manometer

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