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真空技術用語集 第３部：真空計及び関連用語集

熱伝導真空計

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Vacuum technology - Vocabulary - Part 3:Vacuum gauges and related terms

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規格 JISZ81263:2018
用語
熱伝導真空計
定義
異なる温度に保たれている加熱素子を含む二つの素子間の熱の移動量から圧力を求める真空計。 注記1 気体の熱伝導は，分子流域では圧力に依存することを利用している。 注記2 粘性流域では熱対流を利用して，測定範囲を大気圧付近まで伸ばした熱伝導真空計もある。 例 ピラニ真空計，サーミスタ真空計，熱電対真空計，バイメタル真空計。
対応英語(参考)
thermal conductivity gauge

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